Präzise und hoch entwickelte Chips

04.10.2016

PICs sind wahre Alleskönner: Die Photonisch Integrierten Chips bringen die Kommunikationstechnik ebenso voran wie die Radar-, Sensor- und Messtechnik. Und auch bei den bildgebenden Verfahren in der Medizin sind sie gefragt. Selbstredend, dass sich die Forschung für sie interessiert. Die vielseitigen Mikrochips entstehen in einem Forschungsprojekt der Universitätsallianz Ruhr (UA Ruhr). Dafür wurde jetzt eine neue Plasmaanlage von Bochum nach Duisburg gebracht.

Zwei UA Ruhr-Hochschulen – die Universität Duisburg-Essen (UDE) und die Ruhr-Universität Bochum (RUB) – bündeln hier ihre Expertise. Sie stellen künftig Silizium-Photonik-Chips her. Die Kosten für den Transfer der rund 300.000 Euro teuren RUB-Anlage nach Duisburg haben sie gemeinsam gestemmt. Von der Deutschen Forschungsgemeinschaft wurde die Anschaffung des Großgeräts gefördert.

Die neue Plasmaanlage steht nun im Reinraum des Duisburger Zentrums für Halbleitertechnologie und Optoelektronik. Da sie mit bis zu sieben verschiedenen Gasen betrieben werden kann, lassen sich damit unterschiedliche Materialien bearbeiten – zum Beispiel Siliziumoxid und Siliziumnitrid aber auch Galliumarsenid und Indiumphosphid. Sie wird hauptsächlich zu Forschungszwecken genutzt, aber auch für vorkommerzielle Produkte, das heißt für funktionsfähige Prototypen.

„Wir konzentrieren unsere technologischen Ressourcen in den Materialwissenschaften und stärken damit den Wissenschaftsraum Ruhr“, sagen die Photonik-Forscher Prof. Dr. Andreas Stöhr und Prof. Dr. Martin Hofmann. Die hoch entwickelten Produkte können kleine und mittlere Unternehmen später zu einem Bruchteil der bisherigen Kosten einsetzen. Denn die Wissenschaftler geben ihr Know-how weiter, was die Herstellungskosten senkt und neue Anwendungsfelder für PICs erschließt, z.B. für hochauflösende miniaturisierte Radarsysteme oder zur spektroskopischen Identifizierung von Materialien.

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